ウェハー移載機

DSCN0822            

用途

ウェハー検査後などウェハーをキャリアへ収納する際に自動ピッチ上昇により自動収納を可能とする。

キャリア(SEMI規格)にて水平なバッチ移載。

特徴
サイズ 高さ：245mm  奥行：540mm 幅：230mm
対応ウェハー 4ｲﾝﾁ/5ｲﾝﾁ/6ｲﾝﾁ
安全機構 非常停止、ウェハー検知、キャリア検知
電源 AC100V
クリーンルーム適合 可
その他

　　・キャリア からキャリアへの移載機

　　・ピッチ変換移載機

　　　　にも対応しております。